北京微航电子科技有限责任公司成立于2013年，由清华大学毕业的博士、博士后发起创建，是一家面向航天、兵器、船舶等领域需求，主要研发微波电子元器件及射频微系统的高科技公司。本单位建筑面积800平方米，固定资产总值300万元，科研仪器设备总值300万元，现有博士5人，硕士35人，本科20人。团队致力于开发和推广高质量RF MEMS电子元器件产品，包括RF MEMS开关、移相器、衰减器等的设计、制作及其应用。

在核心技术方面本单位具有以下优势：

（1）拥有独特的创新性结构和工艺专利技术；

（2）拥有高性能、长寿命、大功率的RF MEMS开关工艺流程和制作方案；

（3）拥有RF MEMS开关及基于RF MEMS的滤波器、智能天线、移相器的层次化和一体化设计技术；

（4）拥有圆片级抗干扰、高稳定的独特封装策略；

（5）拥有一流技术人才队伍，与国内外一流企业、高校和研究机构建立了广泛的合作关系。本单位除提供各种低成本、高可靠性的RF MEMS产品外，还提供RF MEMS开关、移相器、滤波器、天线等产品的设计、制作、封装及各种RF MEMS产品相关解决方案。此外本单位还配备有矢量网络分析仪、信号与频谱分析仪、微波功率计、射频与微波综合测试仪等测试设备，可提供RF MEMS开关、移相器、滤波器、天线等产品的全面测试服务。

本单位现有硬件条件

本单位现有ADS、HFSS、PROTEL、VHDL等仿真设计软件；有机理分析、理论建模、仿真验证等多个完备的计算机工作站；有信号发生器、信号与频谱分析仪、噪声系数分析仪、微波功率计/频率计、THz测试组件、矢量网络分析仪和数字示波器等RF MEMS产品测试设备，已搭建多个自主微纳测试平台和各频段微波测试平台，对现有的RF MEMS开关、移相器、滤波器、天线等产品具有完善的测试手段。

本单位依托于清华大学微电子所、中科院微电子所、中科院半导体所、苏州纳米研究所等多个研究基地，拥有深紫外光刻机、电子束光刻机、干湿法刻蚀机、蒸发溅射台等一整套微纳器件批量制造工艺线以及圆片级键合机、真空键合机、压焊机等多种封装工艺线，完全可满足大批量、高品质RF MEMS产品的生产要求，为RF MEMS开关、移相器、滤波器、天线等产品的设计、制造、封装和测试提供良好的科研平台。